[发明专利]一种基于支撑柱的微机械超声换能器在审
| 申请号： | 202210809384.6 | 申请日： | 2022-07-10 |
| 公开（公告）号： | CN115106275A | 公开（公告）日： | 2022-09-27 |
| 发明（设计）人： | 任俊彦;何勒铭;王言 | 申请（专利权）人： | 复旦大学 |
| 主分类号： | B06B1/06 | 分类号： | B06B1/06 |
| 代理公司： | 上海正旦专利代理有限公司 31200 | 代理人： | 陆飞;陆尤 |
| 地址： | 200433 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明属于微机电技术领域，具体为一种基于支撑柱的微机械超声换能器。本发明微机械超声换能器是由基本单元经拼接、延拓组成的平面阵列；基本单元包括压电叠层、中性层、支撑柱和衬底；压电叠层包含上电极层、压电层与底电极层；中性层为压电叠层提供支撑，并使压电叠层在受激产生应变时，复合薄膜的应变中性面处于中性层内；支撑柱为中性层提供支撑，为离散分布的柱状结构，形成高填充密度的换能器，提升薄膜振动的有效面积；上电极层与底电极层构成电极对，用于压电层上的电场、电荷、电压的施加与采集；通过施加直流偏置电压，对压电叠层进行静态控制；通过施加交流耦合信号，对压电叠层进行动态激励，实现高性能的超声波信号收发。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 支撑 微机 超声 换能器 | ||
【主权项】：
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