[发明专利]一种基于相变材料的双模干涉2×2光波导开关有效
| 申请号： | 202210811047.0 | 申请日： | 2022-07-11 |
| 公开（公告）号： | CN115308847B | 公开（公告）日： | 2023-10-24 |
| 发明（设计）人： | 高一骁;宋春萌;沈祥 | 申请（专利权）人： | 宁波大学 |
| 主分类号： | G02B6/35 | 分类号： | G02B6/35;G02B6/12;G02F1/01 |
| 代理公司： | 宁波甬致专利代理有限公司 33228 | 代理人： | 张密密 |
| 地址： | 315832 浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明提供一种基于相变材料的双模干涉2×2光波导开关，包括一硅薄膜基座、一输入波导、一双模混合波导以及一输出波导，其中，硅薄膜基座包括未掺杂区域和重度掺杂区域，双模混合波导中间设有相变材料，输入波导和输出波导分别对称设置于双模混合波导的前后两端，输入波导、双模混合波导和输出波导均设置于未掺杂区域的顶部表面，重度掺杂区域对称地分布于双模混合波导的两侧，且重度掺杂区域分别设有一金属接触区域。本发明提供的光波导开关结构紧凑、尺寸小、消光比高、插入损耗低以及能耗低，具有自保持的特性，以适用于可重构、可多级编程的光子集成电路或光子神经网络中。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 相变 材料 双模 干涉 波导 开关 | ||
【主权项】：
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