[发明专利]干涉仪和调节方法在审
申请号: | 202210816749.8 | 申请日: | 2022-07-12 |
公开(公告)号: | CN115268057A | 公开(公告)日: | 2022-11-01 |
发明(设计)人: | 余芬;喻正宁;李锐;俞晓峰;吴锋明;韩双来 | 申请(专利权)人: | 杭州谱育科技发展有限公司 |
主分类号: | G02B26/00 | 分类号: | G02B26/00;G02B7/198;G01B9/02001 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 311305 浙江省杭州市*** | 国省代码: | 浙江;33 |
权利要求书: | 暂无信息 | 说明书: | 暂无信息 |
摘要: | 本发明提供了干涉仪和调节方法,干涉仪包括第一固定反射镜、第二固定反射镜、第三固定反射镜和探测器;第四固定反射镜具有第一侧部和第二侧部;入射光入射到第一部分,其中的反射光依次被第一固定反射镜、第二固定反射镜和第一固定反射镜反射,入射到第二部分,其中的透射光依次被移动反射镜、第三固定反射镜和移动反射镜反射,入射到第四部分;入射到第二部分的反射光穿过第四固定反射镜后与透射光在第四部分上的反射光合束,之后被探测器接收;移动反射镜用于反射透射光;驱动单元用于驱动移动反射镜沿其反射面的法线方向正向和反向移动,使得在第一状态和第二状态间切换。本发明具有自动化等优点。 | ||
搜索关键词: | 干涉仪 调节 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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