[发明专利]多晶硅还原炉用石墨组件及其使用方法在审

专利信息
申请号: 202210820176.6 申请日: 2022-07-13
公开(公告)号: CN115159528A 公开(公告)日: 2022-10-11
发明(设计)人: 孙强;贠俊辉;万烨;严大洲;杨涛;孙金照;聂冬冬;常卓明 申请(专利权)人: 洛阳中硅高科技有限公司;中国恩菲工程技术有限公司
主分类号: C01B33/035 分类号: C01B33/035
代理公司: 北京鸿元知识产权代理有限公司 11327 代理人: 李平
地址: 471027 河南省*** 国省代码: 河南;41
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摘要: 发明提供了一种多晶硅还原炉用石墨组件,包括:夹持体,中部设置有贯穿的硅芯安装孔,用于固定硅芯;石墨基座,一侧端面与电极相接,另一侧端面与所述夹持体相接,且与硅芯的一侧端部抵接;紧固件,中部设有固定孔,所述固定孔的下端套设在所述石墨基座上,所述固定孔的中部抵接在所述夹持体的侧面,以将所述夹持体固定在所述石墨基座上。使用该多晶硅还原炉用石墨组件,可以有效避免石墨组件被包覆嵌入硅棒内部,同时,硅棒与石墨组件分离时,将主要在石墨组件整体的上平面处形成断面,能够彻底实现石墨配件与硅棒的分离,同时降低剔除碳头料的难度,从而有利于质量控制,提高多晶硅成品质量控制水平。
搜索关键词: 多晶 还原 石墨 组件 及其 使用方法
【主权项】:
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