[发明专利]多晶硅还原炉用石墨组件及其使用方法在审
申请号: | 202210820176.6 | 申请日: | 2022-07-13 |
公开(公告)号: | CN115159528A | 公开(公告)日: | 2022-10-11 |
发明(设计)人: | 孙强;贠俊辉;万烨;严大洲;杨涛;孙金照;聂冬冬;常卓明 | 申请(专利权)人: | 洛阳中硅高科技有限公司;中国恩菲工程技术有限公司 |
主分类号: | C01B33/035 | 分类号: | C01B33/035 |
代理公司: | 北京鸿元知识产权代理有限公司 11327 | 代理人: | 李平 |
地址: | 471027 河南省*** | 国省代码: | 河南;41 |
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摘要: | 本发明提供了一种多晶硅还原炉用石墨组件,包括:夹持体,中部设置有贯穿的硅芯安装孔,用于固定硅芯;石墨基座,一侧端面与电极相接,另一侧端面与所述夹持体相接,且与硅芯的一侧端部抵接;紧固件,中部设有固定孔,所述固定孔的下端套设在所述石墨基座上,所述固定孔的中部抵接在所述夹持体的侧面,以将所述夹持体固定在所述石墨基座上。使用该多晶硅还原炉用石墨组件,可以有效避免石墨组件被包覆嵌入硅棒内部,同时,硅棒与石墨组件分离时,将主要在石墨组件整体的上平面处形成断面,能够彻底实现石墨配件与硅棒的分离,同时降低剔除碳头料的难度,从而有利于质量控制,提高多晶硅成品质量控制水平。 | ||
搜索关键词: | 多晶 还原 石墨 组件 及其 使用方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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