[发明专利]基板处理装置在审
| 申请号： | 202210829965.6 | 申请日： | 2022-07-14 |
| 公开（公告）号： | CN115679283A | 公开（公告）日： | 2023-02-03 |
| 发明（设计）人： | 岛田光一 | 申请（专利权）人： | 东京毅力科创株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50;C23C16/458;C30B28/12;C30B29/06 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人： | 刘新宇;张会华 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及基板处理装置。提供一种能够抑制基板粘着于舟皿的技术。本公开的一技术方案的基板处理装置具备：第1舟皿，其将基板保持为搁板状；第2舟皿，其设为与所述第1舟皿同轴，并将基板保持为搁板状；以及驱动机构，其使所述第1舟皿和所述第2舟皿同步地旋转，并且使所述第2舟皿相对于所述第1舟皿相对地升降。 | ||
| 搜索关键词： | 处理 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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