[发明专利]超薄、高透类金刚石涂层及其镀制方法在审
| 申请号： | 202210839118.8 | 申请日： | 2022-07-18 |
| 公开（公告）号： | CN115231832A | 公开（公告）日： | 2022-10-25 |
| 发明（设计）人： | 李智超;毕文江;朱金波;魏春雨;廖孟德;牛延赐;赵二帅;王龙 | 申请（专利权）人： | 河南镀邦光电股份有限公司 |
| 主分类号： | C03C17/34 | 分类号： | C03C17/34;C08J7/046;C08J7/06 |
| 代理公司： | 北京隆达恒晟知识产权代理有限公司 11899 | 代理人： | 庄振乾 |
| 地址： | 473000 河南省*** | 国省代码： | 河南;41 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明公开了超薄、高透类金刚石涂层及其镀制方法，金刚石涂层是基材的表面为打底层，打底层为氧化物/氮化物所镀制的高透过膜层，打底层的表面为功能层，功能层是以碳为溅射靶材，镀制的一层高透、耐磨的Ta‑C膜层，在功能层的表面为透明氮化物保护层。其镀制方法是利用磁控溅射镀膜在基材表面镀制氧化物/氮化物打底层，在打底层上用磁约束过滤聚焦纯离子沉积镀膜法镀制Ta‑C膜作为功能层，在功能层上利用磁控溅射镀膜镀制氮化物保护层。本发明整个镀膜过程具有产品工序简单，生产成本低，良品率高，膜层均匀性好等优势。 | ||
| 搜索关键词： | 超薄 高透类 金刚石 涂层 及其 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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