[发明专利]一种碲锌镉晶片的加工方法在审
申请号: | 202210841080.8 | 申请日: | 2022-07-18 |
公开(公告)号: | CN115106882A | 公开(公告)日: | 2022-09-27 |
发明(设计)人: | 邓波浪;李玉萍 | 申请(专利权)人: | 安徽承禹半导体材料科技有限公司 |
主分类号: | B24B9/06 | 分类号: | B24B9/06;B24B37/04;B28D5/00;B24B57/02 |
代理公司: | 北京天盾知识产权代理有限公司 11421 | 代理人: | 周东呈 |
地址: | 233000 安*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | 本发明涉及本发明的实施例提出了碲锌镉晶片的加工方法,包括:步骤一、切片:将碲锌镉晶棒固定在切片设备上,由切片设备对碲锌镉晶棒进行切片;步骤二、研磨:根据待加工成型的碲锌镉晶片的外径尺寸对碲锌镉切片的外径尺寸进行研磨处理;步骤三、倒角:对所得碲锌镉晶片的边缘进行倒角处理;步骤四、检测:对所得碲锌镉晶片的外径尺寸进行检测,检测结果与待加工成型的碲锌镉晶片的外径尺寸对比;步骤五、抛光:对待加工成型的碲锌镉晶片进行化学机械抛光;其中,步骤一、步骤二、步骤三和步骤五均在低温环境下进行。通过本发明实施例的碲锌镉晶片的加工方法加工得到的碲锌镉晶片具有成型效果好,损坏数量少的优点。 | ||
搜索关键词: | 一种 碲锌镉 晶片 加工 方法 | ||
【主权项】:
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