[发明专利]一种CSP灯珠真空覆膜机真空系统在审
申请号: | 202210851004.5 | 申请日: | 2022-07-20 |
公开(公告)号: | CN115268256A | 公开(公告)日: | 2022-11-01 |
发明(设计)人: | 胡君榕;蒋凡;徐金宏;崔光录 | 申请(专利权)人: | 深圳市广晟德科技发展有限公司 |
主分类号: | G05B11/42 | 分类号: | G05B11/42;G06N3/12;H01L21/67;B29C63/02;B29C63/00 |
代理公司: | 深圳市国高专利代理事务所(普通合伙) 44731 | 代理人: | 陈冠豪 |
地址: | 518101 广东省深圳市宝*** | 国省代码: | 广东;44 |
权利要求书: | 暂无信息 | 说明书: | 暂无信息 |
摘要: | 本发明公开了一种CSP灯珠真空覆膜机真空系统,属于真空覆膜机领域,包括真空泵、真空过滤器、第一真空电磁阀、针阀、三通管件、液压软管、第二真空电磁阀,其中,所述三通管件依次将第一真空电磁阀、针阀、第二真空电磁阀、液压软管连通在一起;所述真空过滤器固定连接在真空泵的进气端,且真空过滤器进气端与第一真空电磁阀通过管接头连接,所述真空泵采用混合式步进电机进行驱动,且真空泵内部设有PID控制器用以通过遗传算法获得PID参数并将PID参数代入步进电机增量式PID控制。本发明通过整体单元化、模块化使得装配集中,再通过遗传算法获得PID参数并将PID参数代入步进电机增量式PID控制,达到对真空泵的精准控制。 | ||
搜索关键词: | 一种 csp 真空 覆膜机 系统 | ||
【主权项】:
暂无信息
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