[发明专利]太阳能电池的制作方法在审
| 申请号： | 202210861880.6 | 申请日： | 2022-07-21 |
| 公开（公告）号： | CN115148586A | 公开（公告）日： | 2022-10-04 |
| 发明（设计）人： | 于琨;刘长明;张昕宇;赵朋松;高贝贝;黄纪德 | 申请（专利权）人： | 晶科能源（海宁）有限公司;浙江晶科能源有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/268 | 分类号： | H01L21/268;H01L31/18;H01L21/66 |
| 代理公司： | 北京晟睿智杰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 11603 | 代理人： | 于淼 |
| 地址： | 314416 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种太阳能电池的制作方法，包括：建立激光掺杂所用功率与扩散片样本的数据库，数据库包括在方阻均匀性最优时对应的最优功率；取待制作太阳能电池的硅片；在硅片的表面沉积掺杂源，得到扩散片；测量扩散片不同位置的第二方阻值，测量扩散片的第二反射率值；从数据库中查找计算与第二方阻值与第二反射率值对应的最优功率；根据最优功率进行激光掺杂。本发明中根据第二反射率值反应扩散片的厚度，根据第二方阻值反应扩散片中掺杂源的总量，根据扩散片的厚度以及掺杂源的总量的不同采用不同功率的激光进行掺杂，制备的太阳能电池的激光掺杂效果更优。 | ||
| 搜索关键词： | 太阳能电池 制作方法 | ||
【主权项】：
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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