[发明专利]一种在光学邻近效应修正后自动修正未收敛区域的方法在审
| 申请号： | 202210862699.7 | 申请日： | 2022-07-20 |
| 公开（公告）号： | CN115268226A | 公开（公告）日： | 2022-11-01 |
| 发明（设计）人： | 陈宪宏;曾鼎程 | 申请（专利权）人： | 上海华力集成电路制造有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 上海浦一知识产权代理有限公司 31211 | 代理人： | 戴广志 |
| 地址： | 201203 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明提供一种在光学邻近效应修正后自动修正未收敛区域的方法，提供目标图层，对目标图层进行常规OPC修正，得到修正图层；以修正图层中图形的关键尺寸为指标，检查修正图层中图形的单边误差，对超出单边误差范围的图形按照误差的范围进行分类，划分为不同的区间；对每个不同的区间内的所述图形进行修复；重复划分误差范围并继续修复，直至所述修正图层中所有经修复后的图形在单边误差范围内为止。本发明可在得到验证结果前,先行处理单边误差未收敛的区域,使得后续验证的结果能够更加快速准确的判断。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 光学 邻近 效应 修正 自动 收敛 区域 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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