[发明专利]一种优化管内壁离子渗氮的装置及方法在审
| 申请号： | 202210863490.2 | 申请日： | 2022-07-21 |
| 公开（公告）号： | CN115261777A | 公开（公告）日： | 2022-11-01 |
| 发明（设计）人： | 田修波;张鑫;巩春志 | 申请（专利权）人： | 哈尔滨工业大学 |
| 主分类号： | C23C8/38 | 分类号： | C23C8/38 |
| 代理公司： | 哈尔滨华夏松花江知识产权代理有限公司 23213 | 代理人： | 侯静 |
| 地址： | 150001 黑龙*** | 国省代码： | 黑龙江;23 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： |
一种优化管内壁离子渗氮的装置及方法，本发明涉及一种优化管内壁离子渗氮的装置及方法。本发明目的是为了解决管筒件内壁渗氮工艺等离子体进入管筒件内部距离较短、等离子体密度低、渗氮效率低的问题，本发明装置包括金属阴极弧源、挡板、辅助阳极、管筒件、阳极杆、Ar进气管、N |
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| 搜索关键词： | 一种 优化 内壁 离子 装置 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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