[发明专利]一种样品支撑柱安装结构在审
申请号: | 202210873814.0 | 申请日: | 2022-07-25 |
公开(公告)号: | CN115032429A | 公开(公告)日: | 2022-09-09 |
发明(设计)人: | 杜洪磊;张学莹;王麟;史世伟 | 申请(专利权)人: | 北京航空航天大学;致真精密仪器(青岛)有限公司 |
主分类号: | G01R1/04 | 分类号: | G01R1/04 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 100191*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明提供了一种样品支撑柱安装结构,包括样品支撑柱、位移台,所述样品支撑柱与所述位移台可拆卸连接,所述样品支撑柱包括样品吸附端,所述样品支撑柱设置有第一导气孔,所述第一导气孔与所述样品吸附端气路连接;所述位移台设置有第二导气孔;所述第二导气孔、第一导气孔相互对位。 | ||
搜索关键词: | 一种 样品 支撑 安装 结构 | ||
【主权项】:
暂无信息
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