[发明专利]一种表面扫描装置在审
申请号: | 202210874968.1 | 申请日: | 2022-07-25 |
公开(公告)号: | CN115219799A | 公开(公告)日: | 2022-10-21 |
发明(设计)人: | 张泽华 | 申请(专利权)人: | 深圳市飞兆微电子有限公司 |
主分类号: | G01R29/08 | 分类号: | G01R29/08;G01R1/02;G01R1/04 |
代理公司: | 北京卓岚智财知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 11624 | 代理人: | 赵夏笛 |
地址: | 518000 广东省深圳市福田区华强北街*** | 国省代码: | 广东;44 |
权利要求书: | 暂无信息 | 说明书: | 暂无信息 |
摘要: | 本发明涉及集成电路测试技术领域,且公开了一种表面扫描装置,包括扫描台、扫描头,所述扫描台的顶部安装有可沿X轴、Y轴与Z轴方向带动扫描头移动的移动模组,所述扫描台的顶部设置有用于集成电路板快速夹持定位的定位机构。该表面扫描装置,通过定位机构中固定的直角定位板与活动的主动板,能快速的对电路板进行夹持,且以直角定位板直角位置为扫描原点,进而能快速的对方形电路板进行定位,再通过定位弹簧与多组定位夹杆的配合使用,能快速的将圆形电路夹持在定位架中心处,以定位架圆心为扫描原点,进而能快速的对圆形电路进行定位,从而达到了能快速进行电路板定位,定位精度高的效果。 | ||
搜索关键词: | 一种 表面 扫描 装置 | ||
【主权项】:
暂无信息
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