[发明专利]一种旋转阴极在审
| 申请号： | 202210875567.8 | 申请日： | 2022-07-25 |
| 公开（公告）号： | CN115094394A | 公开（公告）日： | 2022-09-23 |
| 发明（设计）人： | 匡国庆 | 申请（专利权）人： | 镇江市德利克真空设备科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 镇江基德专利代理事务所(普通合伙) 32306 | 代理人： | 刘兰 |
| 地址： | 212216 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种旋转阴极，涉及到阴极领域，包括阴极壳体，阴极壳体中设置有阴极槽，阴极槽内设置有旋转阴极，阴极壳体的外侧设置有驱动旋转阴极转动的传动单元，旋转阴极的端部与阴极壳体之间设置有限位转动机构，阴极壳体的内部设置有支撑在旋转阴极底部用于减少旋转阴极转动时离心力的稳定机构，为了解决旋转磁控溅射阴极在转动时会产生一定的震动，长时间的震动会导致密封性降低的现象，在旋转阴极的端部与阴极壳体之间设置有限位转动机构，限位转动机构可限制旋转阴极转动时不会偏移，降低旋转阴极晃动的现象，从而减少旋转阴极长时间震动或者晃动造成的密封性降低现象。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 旋转 阴极 | ||
【主权项】：
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