[发明专利]一种真空膜窗、差分抽气系统及粒子加速器在审
申请号: | 202210875862.3 | 申请日: | 2022-07-21 |
公开(公告)号: | CN115243442A | 公开(公告)日: | 2022-10-25 |
发明(设计)人: | 游德学;张剑;廖泽宇;祁永强;王延飞 | 申请(专利权)人: | 杭州嘉辐科技有限公司 |
主分类号: | H05H7/14 | 分类号: | H05H7/14 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人: | 任岩 |
地址: | 310018 浙江省杭州市钱塘新区*** | 国省代码: | 浙江;33 |
权利要求书: | 暂无信息 | 说明书: | 暂无信息 |
摘要: | 本公开提供了一种真空膜窗,该真空膜窗用于实现真空过渡,包括:高强度膜;加强纤维衬底,设置于高强度膜两侧,且与高强度膜密封连接。本公开提供的真空膜窗通过非金属的加强纤维衬底‑高强度膜‑加强纤维衬底的结构改进,加强了真空膜窗的机械强度同时,也降低了对速流损耗的影响。该真空膜窗结构简单及使用场景广泛,可以应用于差分抽气系统中,也可以使用不同的终端设备,实现了终端设备内部真空度的过渡本公开还提供了一种差分抽气系统及束运线终端。 | ||
搜索关键词: | 一种 真空 差分抽气 系统 粒子 加速器 | ||
【主权项】:
暂无信息
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