[发明专利]一种加热器、拉晶炉和消除大直径单晶硅自我间隙缺陷的方法在审
| 申请号： | 202210876599.X | 申请日： | 2022-07-25 |
| 公开（公告）号： | CN115233296A | 公开（公告）日： | 2022-10-25 |
| 发明（设计）人： | 陶莹 | 申请（专利权）人： | 北京麦竹吉科技有限公司;陶莹 |
| 主分类号： | C30B15/14 | 分类号： | C30B15/14;C30B29/06 |
| 代理公司： | 北京轻创知识产权代理有限公司 11212 | 代理人： | 朱晓彤 |
| 地址： | 100000 北京市海淀区*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明涉及一种加热器、拉晶炉和消除大直径单晶硅自我间隙缺陷的方法，涉及单晶硅晶体生长领域，加热本体为圆筒形，拉晶炉的导流筒架设于坩埚上方，加热本体安装于导流筒内侧。消除大直径单晶硅自我间隙缺陷的方法，采用所述的拉晶炉实现，单晶硅棒拉出液面后，利用所述加热本体对单晶硅棒进行加热并使单晶硅棒保持在950℃以上，保持时间为至少15小时。有益效果是：加热器保证硅棒在一定时间里保持拉出的晶体在950℃以上，利用加热本体对拉出液面的硅棒进行保温，让自我间隙的硅原子有足够的时间向单晶硅棒外表面这个自由界面扩散，从而在大直径硅棒中消除这种微观点缺陷。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 加热器 拉晶炉 消除 直径 单晶硅 自我 间隙 缺陷 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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