[发明专利]一种增强光阱效应的织构表面光谱吸收涂层及其制备方法

摘要

本发明公开了一种增强光阱效应的织构表面光谱吸收涂层及其制备方法。该方法通过高温退火与氧化反应，巧妙借用元素扩散，使得衬底中扩散系数较高的元素扩散至衬底表面，在平坦的衬底表面生长出凸起氧化物，形成天然织构表面，以延长扩散过程，改善涂层的光谱吸收性能与高温稳定性。再通过沉积氧化层/氮化层/氮氧化层，作为抗反射层、抗氧化层、元素扩散抑制保护层，进一步提高涂层高温抗氧化性能。所述涂层由织构表面与保护层相结合，同时解决了高温下涂层内原子扩散、表面氧化而导致的结构破坏问题，将高温热稳定性提高至800℃。本发明提供的方法设备门槛低，绿色环保，不产生次生危害，步骤简单、成本低、可控性强、可用于工业化大规模生产。