[发明专利]一种应力驱动边缘翘曲的结构超滑器件及其制备方法在审
| 申请号： | 202210891732.9 | 申请日： | 2022-07-27 |
| 公开（公告）号： | CN115123993A | 公开（公告）日： | 2022-09-30 |
| 发明（设计）人： | 胡恒谦;李腾飞;陆红缦;彭德利;郑泉水 | 申请（专利权）人： | 深圳清华大学研究院;清华大学 |
| 主分类号： | B81B5/00 | 分类号： | B81B5/00;B81C1/00 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 夏菁 |
| 地址： | 518000 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本申请公开了一种应力驱动边缘翘曲的结构超滑器件，涉及超滑技术领域，包括：超滑片，所述超滑片中二维材料的边缘向背离超滑面的方向翘曲；设于所述超滑片预设表面全部区域的薄膜层，其中，所述薄膜层在退火条件下产生体积收缩和热应力使所述超滑片的边缘翘曲，所述预设表面与所述超滑面相背。可见，本申请中的结构超滑器件包括超滑片和薄膜层，薄膜层位于超滑片预设表面的全部区域，该薄膜层在退火条件下可以产生体积收缩和热应力，从而使得超滑片的边缘发生翘曲，即边缘部分抬起一定的高度，从而避免超滑片的边缘与基底之间接触，极大地降低超滑片与基底之间的摩擦力，避免产生磨损。此外，本申请还提供一种具有上述优点的制备方法。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 应力 驱动 边缘 结构 器件 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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