[发明专利]一种微测辐射热计、制作方法及红外探测器在审
| 申请号： | 202210891777.6 | 申请日： | 2022-07-27 |
| 公开（公告）号： | CN114964512A | 公开（公告）日： | 2022-08-30 |
| 发明（设计）人： | 王子栋;王清坤;辛宏伟;孔庆凯 | 申请（专利权）人： | 北京中科海芯科技有限公司 |
| 主分类号： | G01J5/10 | 分类号： | G01J5/10;H01L27/146 |
| 代理公司： | 北京鼎承知识产权代理有限公司 11551 | 代理人： | 夏华栋;顾可嘉 |
| 地址： | 100089 北京市海*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开一种微测辐射热计、制作方法及红外探测器，涉及红外探测技术领域，以解决现有微桥结构的热敏感有效探测面积比较小，且桥腿力学结构不稳定的问题。所述微测辐射热计、制作方法及红外探测器包括：衬底、热敏探测层以及两个桥腿。所述微测辐射热计还包括形成在所述热敏探测层的至少一个表面的二维材料层，所述桥腿包括绝缘芯层以及包裹所述绝缘芯层的导电层。所述制作方法用于制作微测辐射热计。本发明提供的微测辐射热计用于红外探测。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 辐射热 制作方法 红外探测器 | ||
【主权项】：
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