[发明专利]一种嗅觉感存算一体化忆阻器及其制备方法在审
申请号: | 202210896285.6 | 申请日: | 2022-07-28 |
公开(公告)号: | CN115172586A | 公开(公告)日: | 2022-10-11 |
发明(设计)人: | 王天宇;孟佳琳;陈琳;孙清清;张卫 | 申请(专利权)人: | 复旦大学 |
主分类号: | H01L45/00 | 分类号: | H01L45/00 |
代理公司: | 北京得信知识产权代理有限公司 11511 | 代理人: | 孟海娟 |
地址: | 200433 *** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: |
本发明公开一种嗅觉感存算一体化忆阻器及其制备方法。该嗅觉感存算一体化忆阻器包括:衬底;底层叉指电极,形成在所述衬底上;电阻调控功能层,其为高k介质薄膜,形成在所述底层叉指电极上;气体探测功能层,其为SnO |
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搜索关键词: | 一种 嗅觉 感存算 一体化 忆阻器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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