[发明专利]一种高效除尘的尾气处理系统

摘要

本发明公开了一种高效除尘的尾气处理系统，属于半导体有害气体处理技术领域，解决了现有技术中喷淋塔无法捕集粒径较小的粉尘颗粒容易堵塞后续的出气管、未被捕集的粉尘颗粒排放至大气环境中造成环境污染的问题。该尾气处理系统包括沿尾气流动方向依次连接的燃烧反应器、水箱、喷淋塔、带电除尘器和出气管；带电除尘器包括阳极沉淀筒以及设于阳极沉淀筒内的阴极，阳极沉淀筒与喷淋塔的出气口连接，阴极与供电单元连接，阳极沉淀筒接地。该高效除尘的尾气处理系统可用于泛半导体加工工艺产生的尾气处理。