[发明专利]一种可张紧感应膜片的电容薄膜真空计有效
| 申请号： | 202210917065.7 | 申请日： | 2022-08-01 |
| 公开（公告）号： | CN114964613B | 公开（公告）日： | 2022-11-08 |
| 发明（设计）人： | 侯少毅;刘乔;王凤双;卫红;黄星星;毕诗博 | 申请（专利权）人： | 季华实验室 |
| 主分类号： | G01L21/00 | 分类号： | G01L21/00;G01L19/00;G01L19/14 |
| 代理公司： | 佛山市海融科创知识产权代理事务所(普通合伙) 44377 | 代理人： | 莫荣津 |
| 地址： | 528200 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本申请涉及半导体领域，具体而言，涉及一种可张紧感应膜片的电容薄膜真空计,其包括：腔体底板、外壳、感应膜片和张紧组件，所述外壳的下端与所述腔体底板连接以压紧所述感应膜片的边沿，所述感应膜片与所述腔体底板围成测量室，并与所述外壳围成参考腔，所述腔体底板与所述感应膜片的接触处设置有第一环槽，所述张紧组件设置在所述参考腔内，所述张紧组件用于把所述感应膜片覆盖所述第一环槽的部分压入所述第一环槽以张紧所述感应膜片，且所述张紧组件把所述感应膜片压入所述第一环槽的压入深度可调；可对感应膜片进行多次张紧，提高真空计的测量精度和使用寿命。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 可张紧 感应 膜片 电容 薄膜 真空计 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于季华实验室，未经季华实验室许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202210917065.7/，转载请声明来源钻瓜专利网。
