[发明专利]基于发射光谱法的等离子体电子密度三维联合诊断方法在审

专利信息
申请号: 202210922161.0 申请日: 2022-08-02
公开(公告)号: CN115393504A 公开(公告)日: 2022-11-25
发明(设计)人: 贾静;刘彦明;张红艳;李瑞 申请(专利权)人: 西安电子科技大学
主分类号: G06T17/00 分类号: G06T17/00;H05H1/00
代理公司: 西安嘉思特知识产权代理事务所(普通合伙) 61230 代理人: 万艳艳
地址: 710071*** 国省代码: 陕西;61
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摘要: 发明公开了一种基于发射光谱法的等离子体电子密度三维联合诊断方法,包括:获得等离子体发射光谱系数的投影图像,并利用微波干涉在预设路径上诊断第一电子密度积分值;通过三维重建算法,从投影图像中得到发射光谱系数的三维分布;利用静电探针诊断预设路径上的电子密度相对分布,并确定第二电子密度积分值;利用第一电子密度积分值及第二电子密度积分值,修正电子密度相对分布,得到预设路径的电子密度一维分布;从发射光谱系数的三维分布中提取出发射光谱系数一维分布,并计算标定公式;根据标定公式和发射光谱系数的三维分布,获得电子密度的三维分布。本发明可诊断获得等离子体电子密度的三维分布,在诊断精度和时空分辨率方面均具有优势。
搜索关键词: 基于 发射光谱 等离子体 电子密度 三维 联合 诊断 方法
【主权项】:
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