[发明专利]一种调焦调平装置与方法在审
| 申请号： | 202210932314.X | 申请日： | 2022-08-04 |
| 公开（公告）号： | CN115145128A | 公开（公告）日： | 2022-10-04 |
| 发明（设计）人： | 崔国栋 | 申请（专利权）人： | 合肥御微半导体技术有限公司 |
| 主分类号： | G03F9/00 | 分类号： | G03F9/00;G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 蔡舒野 |
| 地址： | 230088 安徽省合肥*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种调焦调平装置与方法，装置包括：位移台，用于承载待测目标物；光学成像系统，位于待测目标物远离位移台的一侧；垂向位移传感器，用于测量待测目标物的面型；驱动机构，使位移台随横向轴和/或纵向轴移动；垂向轴以使光学成像系统随垂向轴移动；控制器分别与光学成像系统、垂向位移传感器和驱动机构连接，基于光学成像系统采集的待测目标物图像，计算待测目标物图像的模糊尺度，结合模糊尺度与离焦量之间的实际映射关系，计算出反馈补偿离焦量，根据反馈补偿离焦量更新垂向轴的期望位置。以实现在线补偿离焦量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 调焦 平装 方法 | ||
【主权项】：
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