[发明专利]改善光罩辅助图形extra printing的方法

摘要

本发明提供一种改善光罩辅助图形extra printing的方法，包括分别获取间隔设置的第一、二目标图形的线宽与周期，第一、二目标图形中均由至少一个线图形组成，线宽为每个线图形的线宽，周期为第一和第二目标图形中，每两相邻线宽图形中点间的距离；在第一、二目标图形中间位置插入至少一个辅助图形；根据第一、二目标图形以及辅助图形得到曝光后图形，改变辅助图形线宽的值，至辅助图形在曝光后图形中不显示，并记录辅助图形线宽的最终设置值。本发明基于经验的插入方法，在亚分辨率辅助图形规则确定之后，利用extra printing的预测图形进行验证可大大降低辅助图形extra printing出现的风险，加快项目的开发进度。