[发明专利]反向金属模板及其制备方法、柔性产品的制备方法在审

专利信息
申请号: 202210937651.8 申请日: 2022-08-05
公开(公告)号: CN115236934A 公开(公告)日: 2022-10-25
发明(设计)人: 胡庆文;李晓军 申请(专利权)人: 广东粤港澳大湾区国家纳米科技创新研究院
主分类号: G03F7/00 分类号: G03F7/00
代理公司: 华进联合专利商标代理有限公司 44224 代理人: 黎金娣
地址: 510700 广东省广州*** 国省代码: 广东;44
权利要求书: 暂无信息 说明书: 暂无信息
摘要: 发明提供了一种用于柔性产品的反向金属模板的制备方法,包括以下步骤:在柔性基底上形成胶层;将具有正向图形结构的母模板压合在所述胶层上,固化所述胶层使所述胶层形成模板胶层,形成反向柔性模板;去除所述母模板;在硬质基底上形成光刻胶层;将所述反向柔性模板压合在所述光刻胶层上,固化所述光刻胶层使所述光刻胶层形成图形化光刻胶层;去除所述反向柔性模板;在所述图形化光刻胶层上制备反向金属模板,其中,所述反向金属模板上具有与所述正向图形结构相反的反向图形结构;以及去除所述图形化光刻胶层和所述硬质基底。本发明能够提高柔性产品的良率。本发明还提供了一种由所述制备方法制备的反向金属模板以及一种柔性产品的制备方法。
搜索关键词: 反向 金属 模板 及其 制备 方法 柔性 产品
【主权项】:
暂无信息
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