[发明专利]一种钯合金薄膜氢气传感器及其制备方法和使用方法在审
| 申请号： | 202210944142.8 | 申请日： | 2022-08-05 |
| 公开（公告）号： | CN115308270A | 公开（公告）日： | 2022-11-08 |
| 发明（设计）人： | 古瑞琴;高胜国;王清雪;钟克创;王利利;王庆 | 申请（专利权）人： | 郑州炜盛电子科技有限公司 |
| 主分类号： | G01N27/12 | 分类号： | G01N27/12 |
| 代理公司： | 郑州优盾知识产权代理有限公司 41125 | 代理人： | 郑园 |
| 地址： | 450000 河南*** | 国省代码： | 河南;41 |
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| 摘要： | 本发明提出了一种钯合金薄膜氢气传感器及其制备方法和使用方法，属于氢气传感器的技术领域，用以解决氢气传感器中温度传导不均匀、金属器件易与氢气发生反应的技术问题。本发明包括基片，基片其中一面为加热面，另一面为氢敏面，所述加热面上设有加热元件和测温元件，加热元件和测温元件的表面覆盖有阻挡层；所述氢敏面上设有氢敏元件，氢敏元件包括多个相同的氢敏电阻，氢敏电阻组成具有4个桥臂的惠斯通电桥电路，所述4个桥臂上的氢敏电阻的个数相同，且在惠斯通电桥电路其中相对的2个桥臂上的氢敏电阻上覆盖有氢阻挡层。本发明提高了传感器的控温精度、加热元件和测温元件的工作稳定性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 合金 薄膜 氢气 传感器 及其 制备 方法 使用方法 | ||
【主权项】：
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