[发明专利]一种MEMS微流体装置及其制作方法在审
| 申请号： | 202210945063.9 | 申请日： | 2022-08-08 |
| 公开（公告）号： | CN115321470A | 公开（公告）日： | 2022-11-11 |
| 发明（设计）人： | 樊永辉;陈果;汪发进 | 申请（专利权）人： | 深圳市麦科思技术有限公司 |
| 主分类号： | B81C1/00 | 分类号： | B81C1/00;B81B7/00;B81B7/02 |
| 代理公司： | 深圳壹舟知识产权代理事务所(普通合伙) 44331 | 代理人： | 仉玉新 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市南山区西丽街道*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明属于微流体装置技术领域，尤其涉及一种MEMS微流体装置及其制作方法。该制作方法包括以下步骤：包括以下步骤：提供衬底，在衬底制作声波反射层；在声波反射层上制作压电层结构；在压电层结构上制作第一光刻胶层，在第一光刻胶层的表面上制作腔壁；在腔壁的表面上制作第二光刻胶层，第二光刻胶层上加工有第一通孔，通过第一通孔在腔壁上制作出喷嘴，去除第一光刻胶层和第二光刻胶层，第一光刻胶层去除后形成一空腔，喷嘴连通至空腔，制作得到MEMS微流体装置。该制作方法采用半导体工艺制作MEMS微流体器件，衬底可以使用大尺寸的硅晶圆，利于大规模生产，降低成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 mems 流体 装置 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
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