[发明专利]一种旋转调节式透反两用型全息显微仪

摘要

本发明公开了一种旋转调节式透反两用型全息显微仪，包括氦氖激光器、保偏光纤分束器，氦氖激光器设置在保偏光纤分束器的前端，保偏光纤分束器设置在参考光系统和物光传输系统前端，氦氖激光器发出激光并经过保偏光纤分束器分束，分别通过参考光系统和物光传输系统，并通过旋转切换装置切换测量模式，之后通过激光合束装置合束；参考光系统和物光传输系统合光后依次设置有分光棱镜、准直透镜、CMOS相机，参考光和物光在分光棱镜处合束向上通过准直透镜，CMOS相机记录干涉全息图。本发明通过一套旋转切换装置，使光路同时兼顾透射和反射两种测量模式，避免光学元件插入移出光路时不利于仪器集成的缺点。