[发明专利]具有导体图案的层叠体的制造方法及转印膜在审
| 申请号： | 202210958155.0 | 申请日： | 2022-08-10 |
| 公开（公告）号： | CN115729044A | 公开（公告）日： | 2023-03-03 |
| 发明（设计）人： | 石坂壮二 | 申请（专利权）人： | 富士胶片株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/16 | 分类号： | G03F7/16;G03F7/42;G03F7/004 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 薛海蛟 |
| 地址： | 日本国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种即使在进行了镀覆处理的情况下也容易形成形状不良得到抑制且更微细的导体图案的具有导体图案的层叠体的制造方法。一种具有导体图案的层叠体的制造方法，其具有：将具有临时支承体和感光性组合物层的转印膜与基板进行贴合的工序；对上述感光性组合物层进行图案曝光的工序；实施显影处理而形成抗蚀图案的工序；进行镀覆处理的工序；剥离上述抗蚀图案的工序；去除露出的上述金属层而形成导体图案的工序；及剥离上述临时支承体的工序，其中，上述感光性组合物层包含具有交联性基团的树脂，上述树脂的重均分子量为3000以上，上述感光性组合物层中所包含的除上述树脂以外的聚合性化合物相对于上述树脂的质量比为0.85以下。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 导体 图案 层叠 制造 方法 转印膜 | ||
【主权项】：
暂无信息
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