[发明专利]用于偏折测量的超景深镜头及其偏折测量系统与测量方法在审

专利信息
申请号: 202210960596.4 申请日: 2022-08-11
公开(公告)号: CN115371585A 公开(公告)日: 2022-11-22
发明(设计)人: 吴珍;魏朝阳;牛振岐;王生水;李晓琳 申请(专利权)人: 中国科学院上海光学精密机械研究所
主分类号: G01B11/24 分类号: G01B11/24;G01M11/02;G02B13/00
代理公司: 上海恒慧知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31317 代理人: 张宁展
地址: 201800 *** 国省代码: 上海;31
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摘要: 一种用于偏折测量的超景深镜头及其偏折测量系统与测量方法,该检测系统由液晶显示屏、待测元件、超景深镜头及CCD相机组成。液晶显示屏显示编码条纹,超景深镜头及CCD相机接收由待测元件反射的带有其面形信息的变形条纹,获得面形梯度信息,进而得到待测元件三维形貌结构。相比于传统CCD相机镜头,本发明中的超景深镜头可扩大成像景深,进而扩大检测范围。同时,超景深镜头相比于传统镜头,通光孔径大,曝光时间短,可提高成像效率。本发明解决了目前偏折测量技术中,尤其是针对大口径复杂光学元件的检测,存在的成像景深不足,检测范围小,效率低的难题,对偏折术测量的适用范围扩大和效率提升有重要意义。
搜索关键词: 用于 测量 景深 镜头 及其 系统 测量方法
【主权项】:
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