[发明专利]基于人工智能的集成电路晶圆表面缺陷检测方法有效
| 申请号： | 202210965350.6 | 申请日： | 2022-08-12 |
| 公开（公告）号： | CN115035122B | 公开（公告）日： | 2022-11-11 |
| 发明（设计）人： | 刘卫卫;金琼洁;欧阳一冉;邹阳春 | 申请（专利权）人： | 宁波鑫芯微电子科技有限公司 |
| 主分类号： | G06T7/00 | 分类号： | G06T7/00;G06T7/11;G06T7/13;G06T7/136;G06T7/62;G06T5/00;G06T5/20;G06T5/40;G06V10/74;G06N3/04;G06N3/08 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 315000 浙江省宁波*** | 国省代码： | 浙江;33 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了基于人工智能的集成电路晶圆表面缺陷检测方法，涉及缺陷检测领域。包括：获取待检测晶圆表面图像；对像素点的梯度变化量进行编码得到待检测晶圆表面图像和标准晶圆表面图像的梯度变化链码；计算梯度相似度对待检测晶圆表面图像进行区域划分；计算各像素点的像素特征值；根据各特征值的频率计算各区域的疑似缺陷程度；根据疑似缺陷程度对特征直方图进行划分；获取待检测晶圆表面增强图像后进行边缘检测得到待检测晶圆的缺陷区域。本发明通过计算待检测晶圆表面图像的像素点的梯度变化，通过对梯度的变化和灰度差异对待检测图像进行区域划分，对不同缺陷程度的自适应增强提高缺陷的对比度，能够有效提高缺陷检测的精确度。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 人工智能 集成电路 表面 缺陷 检测 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于宁波鑫芯微电子科技有限公司，未经宁波鑫芯微电子科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202210965350.6/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：用于冰箱的门组件及冰箱
- 下一篇：基于工业物联网的生产线电量管理方法及系统
