[发明专利]一种叠层结构介电储能电容器的制备方法在审
申请号: | 202210968560.0 | 申请日: | 2022-08-12 |
公开(公告)号: | CN115376824A | 公开(公告)日: | 2022-11-22 |
发明(设计)人: | 岳文锋;贾婷婷;俞亮;蔡亚丽;刘丽霞;于淑会 | 申请(专利权)人: | 中国科学院深圳先进技术研究院 |
主分类号: | H01G4/12 | 分类号: | H01G4/12;H01G4/30 |
代理公司: | 北京维正专利代理有限公司 11508 | 代理人: | 魏坤宇 |
地址: | 518000 广东省深圳市*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本申请涉及电容器领域,具体公开了一种叠层结构介电储能电容器的制备方法。其包括镀铂硅片、涂覆于所述镀铂硅片上的插入层和铁电层和设置于插入层和铁电层上方的顶电极,插入层的原料为钛酸类陶瓷薄膜前驱体溶液,铁电层的原料为Aurivillius相化合物陶瓷薄膜前驱体溶液。其制备方法为先制备钛酸类陶瓷薄膜前驱体溶液,再制备Aurivillius相化合物陶瓷薄膜前驱体溶液,然后将两种溶液分别旋涂在镀铂硅片上制备插入层和铁电层,最后将金属电极沉积到插入层和铁电层上得到顶电极。本申请的叠层结构介电储能电容器具有优良的储能密度以及储能效率。 | ||
搜索关键词: | 一种 结构 介电储能 电容器 制备 方法 | ||
【主权项】:
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