[发明专利]用于计算层析成像光谱仪的超表面全息光栅及其设计方法

摘要

本发明涉及一种用于计算层析成像光谱仪的超表面全息光栅及其设计方法。首先选择衍射图样、系统焦距以及探测器靶面以确定超表面全息光栅的初始结构参数，然后根据初始结构参数获得相位补偿分布，再使用仿真软件对超表面全息光栅的小周期单元仿真，获得相位补偿与表面单元结构直径的关系式，最后通过关系式将相位分布转化为超表面全息光栅阵列结构。通过该方法设计得到的超表面全息光栅可以实现光谱仪的微小化并产生较好的衍射效果。本设计方法利用相位优化算法将超表面全息光栅离散的相位分布转化为连续相位分布，提高了仿真超表面全息光栅远场响应的准确度。