[发明专利]一种稀土掺杂钇铁石榴石单晶薄膜、制备方法及其应用有效
| 申请号： | 202210974602.1 | 申请日： | 2022-08-15 |
| 公开（公告）号： | CN115323494B | 公开（公告）日： | 2023-10-03 |
| 发明（设计）人： | 潘丽宁;周婷婷;谭果果;满其奎 | 申请（专利权）人： | 中国科学院宁波材料技术与工程研究所 |
| 主分类号： | C30B29/28 | 分类号： | C30B29/28;C23C14/08;C23C14/35;C23C14/58 |
| 代理公司： | 北京隆源天恒知识产权代理有限公司 11473 | 代理人： | 鲍丽伟 |
| 地址： | 315201 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种稀土掺杂钇铁石榴石单晶薄膜、制备方法及其应用，涉及亚铁磁性氧化物薄膜技术领域，所述制备方法包括：采用磁控共溅射沉积方式，于室温下在钆镓石榴石基底上沉积稀土和钇铁石榴石，得到单层非晶稀土掺杂钇铁石榴石薄膜；在氧气气氛下，对所述单层非晶稀土掺杂钇铁石榴石薄膜进行退火处理，得到稀土掺杂钇铁石榴石单晶薄膜。本发明利用磁控共溅射沉积方式制备稀土掺杂钇铁石榴石单晶薄膜，制备方法简单，成本低，且获得的稀土掺杂钇铁石榴石单晶薄膜质量优异，饱和磁化强度和矫顽力可以根据稀土掺杂量的不同而进行有效调节。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 稀土 掺杂 铁石 榴石单晶 薄膜 制备 方法 及其 应用 | ||
【主权项】：
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