[发明专利]一种TiN梯度纳米硬质涂层及其制备方法在审
申请号: | 202210981022.5 | 申请日: | 2022-08-16 |
公开(公告)号: | CN115287588A | 公开(公告)日: | 2022-11-04 |
发明(设计)人: | 赵彦辉;徐丽 | 申请(专利权)人: | 中国科学院金属研究所 |
主分类号: | C23C14/02 | 分类号: | C23C14/02;C23C14/06;C23C14/16;C23C14/22;C23C14/32;C23C14/54 |
代理公司: | 沈阳优普达知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 21234 | 代理人: | 张志伟 |
地址: | 110016 辽*** | 国省代码: | 辽宁;21 |
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摘要: | 本发明属于金属材料表面沉积硬质涂层技术领域,具体涉及一种氮化钛(以下称TiN)纳米梯度硬质涂层及其制备方法。在基体表面依次是Ti膜形成的过渡层和TiN层,TiN梯度纳米硬质涂层的厚度为1.5~20微米。本发明离子束辅助电弧离子镀技术完成,通过真空室气压的梯度变化来制备出高强韧性TiN涂层。该涂层除具有高硬度、高韧性外,还具有较低的表面粗糙度、摩擦因数及优异的抗磨损、耐腐蚀等性能。该涂层可刀具、模具及零部件的表面强化,用于提高其使役性能及使用寿命。 | ||
搜索关键词: | 一种 tin 梯度 纳米 硬质 涂层 及其 制备 方法 | ||
【主权项】:
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