[发明专利]一种双框架上料装置及固晶设备

摘要

本发明公开了一种双框架上料装置及固晶设备，双框架上料装置包括框架输送装置和上料设备；上料设备用于将两个框架单元以PAD部相互靠近的姿态转移至框架输送装置上。其既可以通过上料设备同时一次性地将两个框架单元送入固晶设备中的下一装置，以提高UPH，又可以通过上料设备校正两个框架单元的相对位置，使得两个框架单元以PAD部相互靠近的姿态转移至框架输送装置上，使得两个PAD部的距离减少，便于后续设备对两个框架单元进行加热时，热量不易逸散，可控性强，从而提高晶圆邦定时的稳定稳定性，在不需要额外调节框架单元位置的前提下，即不影响生产效率的前提下，使得生产稳定性得到提高。综上，本申请具备生产效率高且生产稳定性高的优点。