[发明专利]晶圆激光改质结构、方法及系统在审
| 申请号： | 202210983213.5 | 申请日： | 2022-08-16 |
| 公开（公告）号： | CN115255682A | 公开（公告）日： | 2022-11-01 |
| 发明（设计）人： | 李静;刘旭冉;汪杰;陈远 | 申请（专利权）人： | 宁波舜宇奥来技术有限公司 |
| 主分类号： | B23K26/53 | 分类号： | B23K26/53;B23K26/70 |
| 代理公司： | 北京谨诚君睿知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 11538 | 代理人： | 延慧 |
| 地址： | 315400 浙江省宁*** | 国省代码： | 浙江;33 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明的一种晶圆激光改质结构、方法及系统，在晶圆样品内部进行多层改质，形成多层晶圆改质层与多层第一留白层的重复结构，控制晶圆改质层激光热影响域范围，降低了临近晶圆改质层之间的热影响区域的互相叠加，使晶圆改质层产生的热裂纹都被局域限制在第一留白层内，减少了隐形改质在材料内部的隐形损伤区域及裂纹受附近热源影响造成不受控拓展可能性，避免了热裂纹纵向‑横向拓展造成弯曲强度降低、崩边等问题，即保证了隐切的改质属性，又能保证外观、理化性质，使样品强度显著提升，从而提升样品外观质量及加工精度。 | ||
| 搜索关键词： | 激光 结构 方法 系统 | ||
【主权项】：
暂无信息
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