[发明专利]一种提篮中晶圆承载铁原片的取放料机构在审
| 申请号： | 202210984204.8 | 申请日： | 2022-08-17 |
| 公开（公告）号： | CN115303796A | 公开（公告）日： | 2022-11-08 |
| 发明（设计）人： | 古乐野;黄日才;刘俊龙 | 申请（专利权）人： | 深圳市鹏乐智能系统有限公司 |
| 主分类号： | B65G47/92 | 分类号： | B65G47/92;B65G47/22;H01L21/673 |
| 代理公司： | 深圳市鼎智专利代理事务所(普通合伙) 44411 | 代理人： | 马金艳 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市坪山区坑梓街道金沙*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种提篮中晶圆承载铁原片的取放料机构，包括提篮和料片取放料机构，所述料片取放料机构设置于提篮一侧，且提篮顶部滑动有料片篮并水平设置，所述料片取放料机构底部水平设置有铁质晶圆承载片，且提篮远离料片取放料机构的一侧两端均设有晶圆承载贴片，所述料片取放料机构上设有铁原片取放料机构，所述铁原片取放料机构包括导向件。本发明料片前段插入提篮之后，分离机构使料片与磁铁条分离，此外，分离机构的末端加入一个弹性机构，保证料片进入提篮并与提篮内侧平齐，吸附机构(磁铁条)：晶圆承载铁片采用一个吸附组件，吸附组件可实现自动归中，再配合导向件的作用，可在料片提篮中精准取料。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 提篮 中晶圆 承载 铁原片 取放料 机构 | ||
【主权项】：
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