[发明专利]一种小型化全金属结构的微同轴微波滤波器芯片

摘要

本发明提供一种小型化全金属结构的微同轴微波滤波器芯片，包括：滤波器外导体、微同轴内导体和射频端口。本发明使用微同轴工艺分层制备，通过在硅晶圆衬底上多次反复运用旋涂光刻胶、匀胶、烘干、曝光、显影、电铸、研磨、抛光等微加工工艺，在完成各层制备后利用研磨工艺去除硅晶圆衬底，最后去除光刻胶从而完成滤波器的加工。本发明基于微同轴制备工艺，通过采用准封闭的微同轴多腔耦合谐振结构，结合内外导体多点连通设计，从而实现滤波器的小型化、轻量化、高制备精度、电磁内部封闭、静电屏蔽、高带外抑制的同时，避免采用微同轴内导体介质支撑结构，实现了滤波器的全金属化、低损耗、高功率容量和强环境适应能力。