[发明专利]一种整体叶盘涂层及其制备方法和应用有效

专利信息
申请号: 202211002297.6 申请日: 2022-08-22
公开(公告)号: CN115074668B 公开(公告)日: 2022-11-15
发明(设计)人: 张佳 申请(专利权)人: 北京辰融科技有限责任公司
主分类号: C23C14/14 分类号: C23C14/14;C23C14/48
代理公司: 北京高沃律师事务所 11569 代理人: 王儒
地址: 100081 北京市海淀区中*** 国省代码: 北京;11
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摘要: 发明提供了一种整体叶盘涂层及其制备方法和应用,属于航空发动机技术领域。本发明通过对基底进行金属元素注入,使得基底具备很好的膜基结合力,同时通过金属离子注入,能够在叶盘表面形成压应力,降低超厚膜层对叶盘疲劳性能的影响,采用负压装置提高等离子体的绕射能力,从而提高整体叶盘中窄缝的镀膜能力,适用于小型多窄缝轴流整体叶盘涂层的制备;本发明采用磁过滤沉积系统,同时配备第一磁场控制装置和第二磁场控制装置,通过电场、磁场的耦合能够方便实现多角度、多维度均匀的镀膜;本发明通过金属离子注入、磁过滤沉积以及磁场的相互协同能够实现窄缝的均匀镀制,且通过循环磁过滤沉积,能够实现整体轴流叶盘镀制超厚的涂层。
搜索关键词: 一种 整体 涂层 及其 制备 方法 应用
【主权项】:
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