[发明专利]一种整体叶盘涂层及其制备方法和应用有效
申请号: | 202211002297.6 | 申请日: | 2022-08-22 |
公开(公告)号: | CN115074668B | 公开(公告)日: | 2022-11-15 |
发明(设计)人: | 张佳 | 申请(专利权)人: | 北京辰融科技有限责任公司 |
主分类号: | C23C14/14 | 分类号: | C23C14/14;C23C14/48 |
代理公司: | 北京高沃律师事务所 11569 | 代理人: | 王儒 |
地址: | 100081 北京市海淀区中*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明提供了一种整体叶盘涂层及其制备方法和应用,属于航空发动机技术领域。本发明通过对基底进行金属元素注入,使得基底具备很好的膜基结合力,同时通过金属离子注入,能够在叶盘表面形成压应力,降低超厚膜层对叶盘疲劳性能的影响,采用负压装置提高等离子体的绕射能力,从而提高整体叶盘中窄缝的镀膜能力,适用于小型多窄缝轴流整体叶盘涂层的制备;本发明采用磁过滤沉积系统,同时配备第一磁场控制装置和第二磁场控制装置,通过电场、磁场的耦合能够方便实现多角度、多维度均匀的镀膜;本发明通过金属离子注入、磁过滤沉积以及磁场的相互协同能够实现窄缝的均匀镀制,且通过循环磁过滤沉积,能够实现整体轴流叶盘镀制超厚的涂层。 | ||
搜索关键词: | 一种 整体 涂层 及其 制备 方法 应用 | ||
【主权项】:
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