[发明专利]一种具有吸声结构的超声波传感器及制备方法在审
| 申请号： | 202211004247.1 | 申请日： | 2022-08-22 |
| 公开（公告）号： | CN115267754A | 公开（公告）日： | 2022-11-01 |
| 发明（设计）人： | 祝梦林;鲍志远 | 申请（专利权）人： | 合肥领航微系统集成有限公司 |
| 主分类号： | G01S7/521 | 分类号： | G01S7/521;B81B3/00;B81B7/02;B81C1/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 230000 安徽省合肥市高新区孔雀台路*** | 国省代码： | 安徽;34 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明提供一种具有吸声结构的超声波传感器及制备方法，所述超声波传感器包括：MEMS芯片，具有一前腔和一背腔；第一晶圆，具有至少一个声孔，所述第一晶圆设置于所述MEMS芯片上，且所述第一晶圆位于所述MEMS芯片的背腔；以及吸声结构，设置于所述第一晶圆上，且所述吸声结构位于所述第一晶圆远离所述MEMS芯片的一侧。本发明提供一种具有吸声结构的超声波传感器及制备方法，可以有效的吸收背腔内的超声波，从而减小超声波传感器的盲区时间，采用键合的工艺，成本低、成品率高、尺寸小、可靠性高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 具有 吸声 结构 超声波传感器 制备 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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