[发明专利]一种集成于超构透镜的光阑及膜系的制备方法在审
| 申请号： | 202211008115.6 | 申请日： | 2022-08-22 |
| 公开（公告）号： | CN115437212A | 公开（公告）日： | 2022-12-06 |
| 发明（设计）人： | 韩业明;邓永波;林雨;王承邈;李博文;张健宇 | 申请（专利权）人： | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 主分类号： | G03F7/00 | 分类号： | G03F7/00;G03F7/20;C23C14/12;C23C14/08;C23C14/06;C23C14/14;C23C14/10;C23C14/24;C23C14/22;C23C14/35;C23C14/46;C23C16/455;C23C16/40;C23C16/34 |
| 代理公司： | 深圳市科进知识产权代理事务所(普通合伙) 44316 | 代理人： | 孟洁 |
| 地址： | 130033 吉林省长春*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 本申请提供的集成于超构透镜的光阑及膜系的制备方法，在基底表面制备超构透镜结构材料膜层，在所述基底的背面镀功能性膜系，在所述基底的正面涂覆光刻胶层，在所述光刻胶层上制备光刻胶掩膜及对准标记掩膜，将所述光刻胶掩膜转化为金属掩膜，在所述超构透镜结构材料膜层上制备超构透镜，在所述超构透镜的表面制备金属光阑，解决现有技术中存在的光阑与超构透镜、膜系与超构透镜之间的配合存在精度要求极高，且需要较大的空间设置光路等问题，将光阑、膜系与超构透镜集成为组合元件，从而降低超构透镜成像测试过程中的装调难度，并大大降低了整个光学系统的空间。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 集成 透镜 光阑 制备 方法 | ||
【主权项】：
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