[发明专利]一种LTCC生瓷带及其制造方法在审

专利信息
申请号: 202211015989.4 申请日: 2022-08-24
公开(公告)号: CN115383868A 公开(公告)日: 2022-11-25
发明(设计)人: 陶克文;于航;罗雄科 申请(专利权)人: 上海泽丰半导体科技有限公司
主分类号: B28B1/29 分类号: B28B1/29;C04B35/22
代理公司: 北京清大紫荆知识产权代理有限公司 11718 代理人: 黎飞鸿;郑纯
地址: 201306 上海市浦东新区中国(上海)自由*** 国省代码: 上海;31
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摘要: 本申请提供一种LTCC生瓷带及其制造方法,其中LTCC生瓷带包括生瓷带膜、第一离型膜和预留膜;生瓷带膜、第一离型膜和预留膜依次叠加;第一离型膜作为生瓷带膜的流延支撑载膜;预留膜粘附于第一离型膜,用于在LTCC生瓷带打孔后进行去除,且其剥离力满足预设范围;LTCC生瓷带适于LTCC激光打孔。通过设置预设厚度范围的生瓷带膜、第一离型膜和预留膜得到适于激光打孔的LTCC生瓷带,不仅满足激光打孔的材料性能要求,实现打孔后生瓷带孔口及内壁几乎无残渣毛刺、无发黑熔融、无椭圆的现象发生,提升孔尺寸的精确性和合格率。由于没有光热烧蚀现象,还使得填孔后揭膜过程所需的力变小,不会造成孔内银浆脱落、减少生瓷带孔口变形破损的隐患。
搜索关键词: 一种 ltcc 生瓷带 及其 制造 方法
【主权项】:
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