[发明专利]一维表面形貌测量系统及其测量方法在审
| 申请号： | 202211020383.X | 申请日： | 2022-08-24 |
| 公开（公告）号： | CN115342749A | 公开（公告）日： | 2022-11-15 |
| 发明（设计）人： | 王建立;王之一;王廷煜;杨永强;糜小涛;杨禹凯;全胜;姚凯男;刘昌华 | 申请（专利权）人： | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 主分类号： | G01B11/24 | 分类号： | G01B11/24;G01B11/02;G01B11/26;G01N21/88 |
| 代理公司： | 长春中科长光知识产权代理事务所(普通合伙) 22218 | 代理人： | 郭婷 |
| 地址： | 130033 吉林省长春*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 本发明提供一种一维表面形貌测量系统及其测量方法，其中的测量装置包括差动共焦测距模块和色散测角模块；在待测物的表面形貌的测量过程中：首先通过差动共焦测距模块将待测物表面的待测位置移动至预设测量位置；再通过色散测角模块对待测位置的峰值波长进行提取，最后通过倾斜角度θ与峰值波长λ的关系θ＝F(λ)确定待测位置的倾斜角度。本发明利用待测位置不同的倾斜角度，会对色散光束产生不同的水平偏移，光谱仪接收到的光谱信号会有不同的峰值波长，从而测算出待测位置的倾斜角度。 | ||
| 搜索关键词： | 表面 形貌 测量 系统 及其 测量方法 | ||
【主权项】：
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