[发明专利]MEMS电容式加速度计及其制备方法在审
申请号: | 202211031283.7 | 申请日: | 2022-08-26 |
公开(公告)号: | CN115389782A | 公开(公告)日: | 2022-11-25 |
发明(设计)人: | 李维平;兰之康 | 申请(专利权)人: | 南京高华科技股份有限公司 |
主分类号: | G01P15/125 | 分类号: | G01P15/125;B81C1/00;B81B7/02;B81B3/00 |
代理公司: | 北京中知法苑知识产权代理有限公司 11226 | 代理人: | 李明;赵吉阳 |
地址: | 210046 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明提供一种MEMS电容式加速度计及其制备方法,包括基底、质量块、悬臂梁、第一电极层和第二电极层;所述质量块设置于所述基底的上方,且所述质量块与所述基底之间形成预设距离;所述悬臂梁倾斜设置;所述悬臂梁的第一端与所述基底固定连接,所述悬臂梁的第二端与所述质量块固定连接,且所述悬臂梁与所述基底之间形成预设夹角;所述基底朝向所述质量块的一侧设置有第一电极层,所述质量块朝向所述基底的一侧设置有与第一电极层相对应的第二电极层。本发明的一个技术效果在于,结构设计合理,有助于实现MEMS电容式加速度计的微型化设计,还有助于保证MEMS电容式加速度计安全、稳定的工作。 | ||
搜索关键词: | mems 电容 加速度计 及其 制备 方法 | ||
【主权项】:
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