[发明专利]一种带有高密度线圈的电磁驱动微镜装置及制备工艺在审
| 申请号： | 202211039594.8 | 申请日： | 2022-08-29 |
| 公开（公告）号： | CN115308899A | 公开（公告）日： | 2022-11-08 |
| 发明（设计）人： | 熊笔锋;马宏 | 申请（专利权）人： | 觉芯电子（无锡）有限公司 |
| 主分类号： | G02B26/08 | 分类号： | G02B26/08;B81C1/00 |
| 代理公司： | 南京苏博知识产权代理事务所(普通合伙) 32411 | 代理人： | 赖忠辉 |
| 地址： | 214000 江苏省无锡市新*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及光学扫描技术领域，具体涉及一种带有高密度线圈的电磁驱动微镜装置及制备工艺；包括衬底层、第一介电层、镜面、金属反射层、可动框架、扭转轴和固定结构，可动框架包括第一线圈层、第二介电层、第一键合层、第二键合层、第三介电层、第二线圈层和第二器件层，第一线圈层埋设于第一器件层的内部，第二键合层与局部的第二线圈层连接，第一器件层的表面覆盖有第二介电层，第二器件层的表面覆盖有第三介电层，通过上述结构实现可在保持单位长度的线圈电阻不变的条件下，使线圈排布的密度翻倍，从而实现高密度线圈集成，增大驱动力，降低对电流幅值和磁场强度的要求，有利于实现低功耗、大扫描角度的高性能电磁驱动微镜。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 带有 高密度 线圈 电磁 驱动 装置 制备 工艺 | ||
【主权项】：
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