[发明专利]一种籽晶粘结装置及籽晶粘结方法在审
| 申请号： | 202211043161.X | 申请日： | 2022-08-29 |
| 公开（公告）号： | CN115491768A | 公开（公告）日： | 2022-12-20 |
| 发明（设计）人： | 占俊杰;余雅俊;徐良;刘建哲;林骞 | 申请（专利权）人： | 浙江富芯微电子科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B33/06 | 分类号： | C30B33/06 |
| 代理公司： | 北京辰权知识产权代理有限公司 11619 | 代理人： | 佟林松 |
| 地址： | 321000 浙江省金华市婺城区秋*** | 国省代码： | 浙江;33 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本申请涉及碳化硅新材料技术领域的一种籽晶粘结装置及籽晶粘结方法，籽晶粘结装置包括：底座，所述底座其中一侧形成籽晶的承载面；压板，所述压板其中一侧形成籽晶的施压面；连接件，所述连接件设于压板上靠近底座的一侧，所述连接件使所述施压面与所述承载面保持设定的间距，将所述压板与所述底座连接。本申请的籽晶粘结装置及籽晶粘结方法提升了籽晶的粘结效果，以利于籽晶上结晶生长晶体。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 籽晶 粘结 装置 方法 | ||
【主权项】：
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