[发明专利]叠合光波导元件及其制备方法和头戴显示设备在审
| 申请号： | 202211049598.4 | 申请日： | 2022-08-30 |
| 公开（公告）号： | CN115356805A | 公开（公告）日： | 2022-11-18 |
| 发明（设计）人： | 马显达;饶轶 | 申请（专利权）人： | 歌尔光学科技有限公司 |
| 主分类号： | G02B6/13 | 分类号： | G02B6/13;G02B6/12;G02B27/01 |
| 代理公司： | 北京博雅睿泉专利代理事务所(特殊普通合伙) 11442 | 代理人： | 杨璐 |
| 地址： | 261061 山东省潍坊市高新区清池街*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本申请公开了一种叠合光波导元件及其制备方法和头戴显示设备；所述制备方法包括：提供至少两个晶圆，所述晶圆包括波导区域及边缘区域，所述波导区域包括至少一个目标波导片，所述边缘区域形成有至少两个凸柱；根据所述目标波导片的数量和排列位置，在所述晶圆上形成预分割路径；将所述至少两个晶圆叠设形成叠合晶圆，任两个相邻的所述晶圆之间通过所述凸柱形成间隙；其中，任两个相邻的所述晶圆的所述目标波导片为一一对应，相对应的任两个所述目标波导片之间具有空气间隔且边缘之间通过胶线胶接；沿所述预分割路径对所述叠合晶圆进行裂片处理，得到一个或多个独立的叠合光波导元件。本申请能够精确控制叠合光波导元件中波导片间的空气间隔。 | ||
| 搜索关键词： | 叠合 波导 元件 及其 制备 方法 显示 设备 | ||
【主权项】：
暂无信息
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