[发明专利]一种适用于不同规格晶篮的夹爪提取机构及其插片机有效
申请号: | 202211050544.X | 申请日: | 2022-08-30 |
公开(公告)号: | CN115440649B | 公开(公告)日: | 2023-06-13 |
发明(设计)人: | 姜君;潘皓;张帅;刘健 | 申请(专利权)人: | 曲靖阳光新能源股份有限公司 |
主分类号: | H01L21/687 | 分类号: | H01L21/687;H01L21/67;H01L31/18 |
代理公司: | 北京冠和权律师事务所 11399 | 代理人: | 陈姣姣 |
地址: | 655000 云南*** | 国省代码: | 云南;53 |
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摘要: | 本发明提供了一种适用于不同规格晶篮的夹爪提取机构及其插片机,包括:安装板、第一连杆、驱动杆和夹持杆,所述安装板水平设置,两个所述第一连杆对称设置在所述安装板底面上,所述驱动杆水平设置在两个所述第一连杆之间,且通过设置在安装板上的主液压缸带动驱动杆上下运动,所述驱动杆两端滑动设置有驱动套筒,所述第一连杆上水平滑动设置有第二连杆,所述驱动套筒上铰接设置有第三连杆和第四连杆,所述第三连杆与第四连杆沿竖直方向对称设置且分别与第一连杆和第二连杆铰接,所述夹持杆与所述第二连杆固定连接。本发明的目的在于提供一种适用于不同规格晶篮的夹爪提取机构及其插片机,能够适用于各种大小规格晶篮的夹持。 | ||
搜索关键词: | 一种 适用于 不同 规格 提取 机构 及其 插片机 | ||
【主权项】:
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
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